晶盛机电12英寸单片式碳化硅外延生长设备顺利交付瀚天天成
晶盛机电近日在碳化硅（SiC）核心装备领域取得重大突破，其研发的12英寸单片式碳化硅外延生长设备顺利交付全球头部SiC外延晶片生产商瀚天天成。该设备可兼容8、12英寸SiC外延生产，采用了独创的垂直分流进气方案，实现了晶圆表面温度高精度闭环控制、工艺气体精确分区控制等技术，并配备了自动化模块，提升了颗粒控制能力和维护效率。
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