中科院研发'闪速退火'工艺，实现晶圆级高性能储能薄膜制备
中国科学院金属研究所团队开发出热处理升降温速率达每秒1000摄氏度的的'闪速退火'工艺，成功制备出晶圆级高性能储能薄膜，相关成果发表于《科学进展》期刊，为下一代高性能储能电容器件制造开辟新路径。
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