晶盛机电大尺寸碳化硅衬底产能规划达90万片，12寸衬底试线通线
晶盛机电在2025年三季报交流中披露，其碳化硅衬底已规划产能合计90万片。其中，导电型碳化硅衬底在现有30万片拉晶产能外，新建60万片8寸产能；半绝缘型12寸衬底试线已通线，瞄准AR眼镜、CoWoS中介层等新应用。公司半导体设备及零部件业务也批量供应国内头部客户。
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