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晶盛机电12英寸碳化硅衬底加工中试线正式通线

晶盛机电子公司浙江晶瑞Super SiC于9月26日实现首条12英寸碳化硅衬底加工中试线通线,完成晶体生长、加工到检测环节设备100%国产化自主研制。

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