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安孚科技拟出资4800万元设立半导体设备公司,光刻光源系统(248nm/193nm)自主突破并送样头部晶圆厂

安孚科技拟与杭州华昇迈及其核心管理团队共同设立安孚华昇迈(合肥)半导体设备有限公司,注册资本8000万元,其中安孚科技出资4800万元占股60%。合资公司将布局高端半导体装备相关功能组件制造,重点从零搭建248nm KrF、193nm ArF完整光源系统,打破海外垄断。光刻光源长期被美国Cymer(ASML子公司)、日本Gigaphoton等垄断,华昇迈目前正送样头部晶圆厂验证,量产后具备强定价权与客户粘性。公司此前领投易缆微切入硅光芯片方向,实控人产业链协同效应显著。

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新闻直接主体。安孚科技拟出资4800万元(持股60%),与杭州华昇迈共同设立安孚华昇迈(合肥)半导体设备有限公司,从零搭建248nm KrF、193nm ArF完整光刻光源系统,打破美国Cymer(ASML子公司)和日本Gigaphoton垄断,当前正送样头部晶圆厂验证。
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安孚科技实控人袁永刚(603031年报披露)同为东山精密控股股东、董事长,并担任上海芯华睿半导体等多家半导体公司董事。新闻明确提及"实控人产业链协同效应显著",东山精密是全球FPC第二名、PCB第三名的电子制造平台。
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2025年报披露:产品"切入光刻机对准系统、照明系统等核心环节","光刻机核心子系统相关元组件项目稳步落地"。安孚华昇迈的光刻光源系统与永新光学所供应的光刻机照明系统为同一光刻曝光系统的配套关系。
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核心关键技术包括"光刻机曝光物镜超精密光学元件加工技术"(2025年报披露)。光刻曝光物镜与光刻光源系统共同构成光刻机曝光系统的核心子系统,茂莱供应与之直接配套的精密光学元件。
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2025年报明确提及"准分子光源"用高纯石英材料,"光纤半导体"收入占比51.2%。KrF(248nm)/ArF(193nm)准分子激光器需使用高纯石英光学元件制造激光腔体和光路组件,公司是全球少数掌握规模化量产高纯石英砂技术的企业。
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2025年报披露:超精密光学元件已导入"全球顶尖光刻机、半导体刻蚀设备客户",产品应用于"光刻机投影物镜系统和照明系统"。光刻光源系统与照明系统技术同源、客户重叠,公司产品与合资公司光源为配套关系。
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合肥本土半导体光刻设备龙头(直写光刻设备),与安孚华昇迈合资公司同处合肥高新区。"光刻机(胶)"核心概念股,光刻光源是光刻设备核心子系统,属于同一产业生态的技术配套关系。
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合肥市最大12英寸晶圆代工企业(安徽省首家纯晶圆代工科创板上市公司),主营业务95.1%为集成电路晶圆代工。安孚华昇迈光刻光源送样的"头部晶圆厂"潜在客户之一,与合资公司同处合肥半导体产业集群。
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2026-03-20公告:年产300吨KrF/ArF光刻胶产业化项目已建成投产,布局超30款高端晶圆光刻胶。KrF/ArF光刻胶与KrF/ArF光刻光源是同一技术生态的核心耗材,均服务于国内晶圆厂同一条光刻工艺线,客户高度重叠。