阿斯麦表，公司计划在2027年将2026年约130台的浸没式DUV光刻机产能提升30%，同时正研究在2028年再度扩产30%。
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芯
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芯源微2025年报明确指出：ASML在光源光罩系统等方面持续突破，其DUV光刻机在产能、精度指标上持续提升。公司是国内唯一可量产前道涂胶显影机的厂商，产品涵盖ArF浸没式工艺，涂胶显影设备是半导体产线上唯一与光刻机联机作业的关键设备，已实现与全球主流光刻机联机量产。ASML DUV扩产将直接拉动配套涂胶显影设备需求。
晶
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晶瑞电材2020年下半年购买了ASML 1900 Gi型光刻机及配套设备（2025年报披露），用于ArF/KrF光刻胶研发生产。公司光刻胶收入占比13.9%，利润占比25.2%，半导体行业收入65.8%。ASML DUV光刻机扩产利好晶瑞电材光刻胶研发及下游晶圆厂验证推进，加速高端光刻胶国产替代。
中
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中船特气2025年8月公告光刻气产品获得日本GIGAPHOTON株式会社合格供应商认证。GIGAPHOTON是专注于DUV准分子激光光源及EUV光源开发的全球核心企业，是ASML DUV光刻机激光光源关键供应商。ASML DUV扩产将拉动光刻气需求，中船特气作为通过认证的供应商直接受益。电子特种气体收入占比85.2%。
鼎
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鼎龙股份2026年3月公告年产300吨KrF/ArF光刻胶产业化项目建成投产，产品涵盖浸没式ArF与KrF等国内晶圆厂迫切需求的光刻材料，已有多款产品实现稳定批量供应。公司半导体业务收入占比57%，ArF浸没式光刻胶直接配套浸没式DUV光刻机工艺，ASML扩产将带动光刻胶需求放量。
上
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上海新阳公告披露ArF浸没式光刻胶研发项目已购置ArF浸没式光刻机，建成I线、KrF、ArF干法/浸没式全品类光刻胶研发平台。天风证券2026-03-10研报指出公司是国内光刻胶供应链的重要一环。公司集成电路材料收入76.3%，ASML DUV扩产利好其ArF浸没式光刻胶客户验证与产业化。
恒
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恒坤新材2025年报披露，ArF浸没式光刻胶已通过验证并小规模销售，同时多款KrF光刻胶量产供货。公司光刻材料收入占比77.6%，产品主要应用于12英寸晶圆厂先进制程。ASML浸没式DUV扩产将增加晶圆厂光刻胶耗材需求，利好恒坤新材光刻材料放量。
富
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富创精密是国内半导体设备精密零部件领军企业，2025年报披露具备7nm及以下先进制程高精密金属零部件量产能力，产品性能达到并超越国际主流客户标准。公司集成电路及贸易收入占比84.5%，产品涵盖工艺零部件、模组、气体管路等，是全球半导体设备（含光刻机）精密零部件的核心供应商，ASML扩产对其零部件需求有拉动作用。
同
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同飞股份2025年报披露其温控设备在半导体领域主要应用于涂胶、光刻、显影、刻蚀等芯片制造环节的温度控制，光刻机是高精密设备，温控精度直接影响良品率。公司概念板块含光刻机（胶），液体恒温设备收入占比70.9%。ASML DUV扩产带动晶圆厂扩产，间接拉动温控等配套设备需求。
茂
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茂莱光学是国内精密光学综合解决方案供应商，精密光学器件、光学系统是光刻机等半导体设备的核心组成。公司概念板块含光刻机（胶），精密光学元件收入占比43.8%，国外收入占比56.6%，产品通过国际半导体设备商认证。ASML DUV光刻机扩产将带动上游精密光学元件需求。
波
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波长光电2025年报明确指出：精密光学系统是光刻机、光学量检测设备的核心组成，直接决定设备制程精度与良率。公司是国内精密光学元件、组件主要供应商，光学组件收入占比50.3%。ASML DUV光刻机扩产将带动半导体光学产业链需求，公司精密光学产品可用于光刻机光学系统。
中
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中芯国际是国内最大晶圆代工厂，主营业务为集成电路晶圆代工，收入占比93.3%，大量采购DUV光刻机用于成熟制程及先进制程产线。ASML浸没式DUV光刻机扩产有助于增加全球DUV设备供给，改善国内晶圆厂设备采购环境，利好中芯国际产能扩张。但受出口管制政策影响，传导路径存在不确定性。