恒运昌

公司主要从事等离子体射频电源系统,等离子体激发装置,等离子体直流电源,各种配件的研发,生产,销售及技术服务,并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件,围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案.

公司主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，自研产品具体包括等离子体射频电源系统(等离子体射频电源及匹配器)、等离子体激发装置(远程等离子体源、射频离子源)、等离子体直流电源、配件(滤波器、阻抗调整器等)；引进产品主要包括真空获得和流体控制分别所需的真空泵、质量流量计等核心零部件；同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。公司是国家高新技术企业、中国集成电路零部件创新联盟理事单位、国家专精特新重点“小巨人”、国家专精特新“小巨人”、“科创中国”射频开关电源创新基地、广东省2024年制造业单项冠军、广东省射频开关电源工程技术研究中心，并获得第六届中国集成电路创新联盟“IC创新奖”、广东省真空科技进步一等奖、2024年“湾芯奖”之“核心零部件创新奖”、中芯国际“零部件模组战略供应商”、拓荆科技“超卓伙伴奖”和“最佳交付奖”、微导纳米“最佳合作奖”等荣誉。