华海清科CMP装备累计出机超800台，实现国产替代关键突破

华海清科(688120.SH)公告称，公司化学机械抛光（CMP）装备出机累计超800台，涵盖多款主力机型。产品已全面覆盖逻辑、3D NAND存储、DRAM存储等主流产品线，并成功切入大硅片、第三代半导体、CIS、MEMS、MicroLED以及先进封装等领域头部客户供应链，已实现国内主流集成电路制造产线的全覆盖和批量化应用。这标志着公司技术、产品获得行业认可，国产CMP装备替代能力增强。