半导体设备板块震荡回升 盛美上海涨超10%续创历史新高

新闻核心标的，涨超10%续创历史新高。公司为国内半导体清洗设备龙头，主营半导体设备收入占比95.8%，产品覆盖单晶圆清洗、电镀、PECVD及涂胶显影设备，2025年已向头部逻辑晶圆厂交付首台KrF前道涂胶显影设备。受益于SEMI数据披露全球设备销售额1351亿美元连续三年新高及2026-2027年预期上调的直接利好。

新闻直接点名跟涨，半导体自动化测试系统占营收84.8%，是国内领先的功率器件测试系统供应商，国家级专精特新小巨人企业。产品应用于电动汽车、光伏、储能等领域电源管理芯片测试，受益于全球半导体设备市场连续三年创新高带动的后道测试设备需求增长。

新闻直接点名跟涨，专注于半导体检测和量测设备，产品已应用于国内28nm及以上制程。半导体行业收入占比96.6%，检测设备占66.4%，量测设备占30.4%。公司为国内半导体质量控制设备领军企业，光学检测技术达国际领先水平，直接受益于全球设备市场扩张及国产替代加速。

新闻直接点名跟涨，国内薄膜沉积设备龙头，半导体专用设备收入占比96.6%。产品包括PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD等系列，已广泛应用于国内逻辑芯片和存储芯片制造。受益于SEMI数据显示全球设备销售额1351亿美元连续三年新高，晶圆厂扩产直接拉动薄膜沉积设备采购。

国内综合性半导体设备龙头，电子工艺装备收入占93.3%，产品覆盖刻蚀、薄膜沉积、清洗、离子注入等核心工艺设备。近5日主力资金净流入11.26亿元，资金面主力净流入。作为A股市值最大的半导体设备公司，直接受益于SEMI全球设备市场1351亿美元及后续预期上调的行业β行情。

国内等离子体刻蚀设备龙头，100%收入来自半导体设备。已开发20种等离子体刻蚀设备覆盖95%以上刻蚀应用，薄膜设备新获得批量订单，EPI设备进入先进制程验证。近5日主力资金净流入2.64亿元。受益于全球半导体设备连续三年创新高，刻蚀设备作为核心工艺设备需求持续旺盛。

新闻中提及20cm涨停，为国内领先半导体检测设备供应商。半导体检测设备制造收入占15.3%，同时消费电子检测设备也广泛用于芯片级测试。公司具备数字/模拟/射频等各类测试板卡自主研发能力，受益于全球半导体设备资本开支扩张带动检测设备需求增长。

新闻直接点名跟涨，为中国大陆规模最大的探针台设备制造企业，晶圆探针台收入占43.4%，晶粒探针台占36.7%，100%收入来自专用设备制造业。探针测试技术是晶圆检测(CP)核心环节，直接受益于全球半导体设备市场扩张及国产替代进程。

新闻直接点名跟涨，国内半导体设备精密零部件领军企业，集成电路相关收入占84.5%。主要产品为工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路，是半导体设备的直接上游供应商。受益于全球设备销售额创新高，设备厂商扩产直接拉动精密零部件采购需求。

国内涂胶显影设备龙头，电子工艺装备收入占96.4%。产品包括涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机和单片清洗机。是国内少数能提供光刻工艺配套设备的企业，受益于全球半导体设备资本开支扩张带动前道设备采购。

国内集成电路测试设备龙头，100%收入来自集成电路电子工业专用设备。主营产品包括测试机（收入60.5%）和分选机（29.6%），拥有超1100项海内外授权专利，被认定为工信部专精特新小巨人企业。受益于全球半导体设备市场扩张带动后道封测设备需求。

国内模拟及数模混合测试设备龙头，半导体测试系统收入占88.2%，99.5%来自半导体元器件行业。深耕测试领域近三十年，是国内前三大封测厂商模拟测试领域主力供应商，服务超300家芯片设计企业。受益于设备市场扩张拉动测试需求。

国内半导体测试分选设备龙头，测试分选机收入占90.6%，99.7%收入来自半导体设备。2025年预计净利润同比增长103.87%-167.58%，投资4亿元建设上海半导体设备制造中心，产能扩张直接反映行业高景气度。

半导体检测设备收入占比39.4%（2025年报），显示行业52.4%。半导体业务聚焦前道量检测设备，已构建光学检测、电子束检测等产品线。受益于全球设备资本开支扩张及国产替代趋势，半导体检测设备国产化率提升空间大。

高纯工艺系统与半导体清洗设备供应商，泛半导体收入占92.6%。系统集成设备收入占80.3%，同时自研半导体单片/槽式湿法清洗设备。受益于全球设备市场扩张，晶圆厂扩产直接拉动高纯工艺系统和清洗设备采购。大基金持股。

刻蚀设备用硅零部件核心供应商，硅零部件收入占54.1%，已进入主流存储芯片制造厂及等离子刻蚀设备原厂供应链。在硅零部件领域取得中国本土市场领先地位，国产化替代作用突出。受益于刻蚀设备出货量增长带动的零部件需求。

国内高纯溅射靶材龙头，超高纯靶材收入占61.9%，半导体零部件占23.5%。产品已应用于世界著名半导体厂商的最先端制造工艺（16nm量产），同时满足国内28nm量产需求。靶材是半导体设备运行的关键耗材，直接受益于设备保有量和利用率提升。

半导体工艺介质和电子特气综合服务商，集成电路收入占59.7%。业务涵盖高纯气化供应系统、电子大宗气、特气及化学品。受益于全球半导体设备资本开支扩张，新建晶圆厂带动工艺介质系统和电子特气的配套需求增长。

国内MEMS探针卡领军企业，探针卡销售占收入95.3%，98.8%来自集成电路行业。是境内极少数拥有自主MEMS探针制造技术并实现批量生产的厂商，打破境外垄断。探针卡是晶圆测试核心硬件，受益于后道测试设备需求扩张及国产替代。2025年12月科创板上市。