AI投资热潮向上游扩散 美股多家半导体设备龙头今年翻倍
光刻机（胶）
【AI投资热潮向上游扩散 美股多家半导体设备龙头今年翻倍】回顾年初至今的美股市场，不仅半导体、光通信等AI硬件板块集体狂飙，产业链上游的半导体设备赛道亦同步走出亮眼升势。据《科创板日报》统计，美股总市值超百亿美元的9家半导体设备公司，今年以来股价涨幅均已超过75%。其中，应用材料、拉姆研究、科磊、泰瑞达、MKS Inc、英特格、Onto Innovation Inc这7只个股年内股价实现翻倍。就产业逻辑而言，种种迹象表明，半导体设备正迎来机构所谓的“卖方市场”。
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20 只 · 按关联度排序
北
92%
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国内半导体设备平台龙头，电子工艺装备（PVD/CVD/刻蚀/清洗）营收占比93.3%，直接对标美股应用材料(AMAT)。产品覆盖28nm及以上制程，2025年报显示电子装备行业贡献91.2%利润。近5日主力资金净流入22.4亿元，资金面强势，境外持仓13.14%显著高于市场均值，充分反映市场对其作为国产设备龙头的认可。
中
90%
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国内等离子体刻蚀设备龙头，营收100%来自半导体设备，直接对标美股拉姆研究(LRCX)。已进入5nm及以下先进制程刻蚀工艺，2025年报显示中国大陆收入占比97.4%。近5日主力净流入5.6亿元，境外持仓10.52%，刻蚀设备在AI芯片制造中不可或缺，受益AI投资向设备端扩散。
拓
90%
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国内PECVD/ALD/SACVD薄膜沉积设备领军企业，营收96.6%来自半导体设备，直接对标应用材料(AMAT)和拉姆研究(LRCX)的薄膜沉积业务。2025年报显示中国大陆收入占比96.6%，是国内专用量产型薄膜沉积设备龙头，AI芯片对先进制程薄膜沉积需求强劲。
中
90%
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国内半导体量测检测设备龙头，检测设备营收66.4%、量测设备30.4%，合计96.6%来自半导体行业，直接对标美股科磊(KLAC)和Onto Innovation。产品覆盖无图形/图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测等，是国产替代稀缺标的，受益于设备国产化率提升。
华
88%
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国内唯一量产12英寸CMP设备的公司，CMP设备营收87.2%，营收100%来自半导体行业，直接对标应用材料(AMAT)的CMP业务。2023年获国家技术发明奖一等奖，近5日主力净流入6876万元，受益于AI芯片对CMP工艺层数增加的需求。
盛
88%
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半导体清洗设备龙头，半导体设备营收95.8%，全球首创SAPS/TEBO兆声波清洗技术。产品覆盖28nm及以下清洗、电镀设备，对标应用材料清洗业务线。随着AI芯片对缺陷控制要求提升，清洗设备需求持续增长。
华
88%
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国内半导体测试系统龙头，营收99.5%来自半导体测试设备，直接对标美股泰瑞达(TER)。专注模拟/混合信号测试领域，打破了国外垄断，国内前三大封测厂的主力模拟测试平台供应商。受益于AI芯片和先进封装带来的测试需求爆发。
长
85%
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测试机(60.5%)+分选机(29.6%)双轮驱动，营收100%集成电路设备，直接对标泰瑞达(Teradyne)。工信部专精特新小巨人，产品应用于汽车电子、5G通信、云计算芯片检测，受益于AI算力芯片封装测试需求提升。
芯
85%
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涂胶显影设备国内龙头，电子工艺装备营收98.9%，是国内唯一可量产前道涂胶显影设备的厂商，对标应用材料/TEL涂胶显影业务。产品用于300mm前道制程和先进封装，受益于国产晶圆厂扩产带来的设备采购需求。
富
85%
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国内半导体设备精密零部件领军企业，机械及机电零组件67.6%+气体传输系统31.2%，84.5%营收来自集成电路。是北方华创、中微公司等国产设备龙头的上游核心供应商，直接受益于设备国产化放量，是设备板块扩产的率先受益环节。
安
85%
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国内CMP抛光液龙头，化学机械抛光液营收81.5%，99.8%业务来自集成电路，直接对标美股英特格(ENTG)的CMP材料业务。产品覆盖14nm及以上制程，在国内市场处于主流供应商地位，受益于半导体设备高稼动率带来的耗材需求增长。
华
82%
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电子特气龙头，特种气体营收65.1%（其中光刻混合气22%），对国内8寸及以上晶圆厂覆盖率超90%，已进入英特尔、台积电、三星供应链，对标英特格的电子气体业务。2025年报半导体行业贡献53.1%利润，设备高景气带动特种气体用量增长。
江
80%
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高纯溅射靶材龙头，超高纯靶材营收61.9%，靶材是PVD设备的核心耗材，对标英特格的高纯金属业务。已在16nm制程批量供货，产品进入全球著名半导体厂商供应链。设备稼动率提升直接带动靶材消耗量增长。
精
80%
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半导体检测设备营收39.4%（2025年报），显示检测52.4%，大基金持股。光学检测技术延伸至半导体领域，部分对标科磊(KLAC)。随着AI芯片制造对良率检测要求提升，半导体检测业务占比持续提高。
至
80%
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高纯工艺系统（80.3%）+清洗设备（10%），92.6%营收来自泛半导体，大基金持股。为晶圆厂和设备厂提供高纯化学品供应系统和单片湿法清洗设备，是半导体制造工艺环境的核心配套商，受益于下游晶圆厂扩产。
正
78%
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气体化学品供应系统（57.7%）+核心零组件（17.4%）+先进材料（13.8%），59.7%营收来自集成电路。服务于中芯国际等晶圆厂，提供电子大宗气和特气。设备国产化带动晶圆厂CAPEX增加，利好配套气体系统供应商。
雅
78%
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半导体材料（31.4%）+光刻胶（22.8%）+特种气体（4.8%），电子材料合计59%营收，大基金持股。通过收购切入半导体前驱体、光刻胶等关键材料领域，对标英特格，受益于半导体材料国产化率提升。
晶
75%
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晶体生长设备龙头，设备及服务营收74%，产品涵盖单晶硅生长炉和碳化硅长晶炉。碳化硅衬底设备受益于三代半扩产，半导体设备业务拓展至8-12英寸硅片切磨抛设备，受益于设备国产替代趋势。
中
75%
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高速光模块全球龙头，高端光通讯收发模块营收98%，与英伟达深度合作。新闻明确提及光通信板块与半导体设备一同大涨，AI算力爆发带动800G/1.6T光模块需求，与设备端同为AI上游受益方向。