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预处理涂层技术让下一代晶体管更易制造

电子特气 氟化工 半导体
【预处理涂层技术让下一代晶体管更易制造】美国能源部普林斯顿等离子体物理实验室科学家,通过计算机模拟发现了一种简单却精妙的涂层技术:用氧或氟对二硫化钼进行预处理,就能让下一代芯片晶体管的制造变得更容易,同时不会殃及其他“无辜”的原子。相关论文发表于新一期《物理化学快报》杂志。

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全球钼行业龙头,直接生产二硫化钼(MoS₂)化工产品,并参与制定《二硫化钼靶材》行业标准(来源:2025年ESG报告、2025年报)。新闻核心正是MoS₂的氧/氟预处理涂层技术,金钼是A股唯一实质性量产二硫化钼的企业,作为上游材料供应商具备直接业务关联。
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先进前驱体板块覆盖硅前驱体/金属前驱体、高K/低K前驱体等用于晶圆薄膜沉积工艺的核心材料。2025年报显示前驱体+MO源+特种气体收入占比100%,是国内主要前驱体材料供应商之一。新闻中的预处理涂层技术属薄膜沉积工艺,前驱体是关键原材料。
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电子特气龙头,产品含高纯四氟化碳、六氟乙烷、三氟甲烷等多种含氟气体和前驱体,覆盖国内8寸以上晶圆厂超90%。2025年报明确指出半导体行业采用新型沉积和刻蚀过程会涉及更多前驱体和含氟气体,与新闻中氧/氟预处理技术方向高度契合。
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以原子层沉积(ALD)技术为核心,是国内首家将量产型High-k ALD设备应用于集成电路前道生产线的国产设备商。2025年报显示半导体类设备收入占比33.5%。新闻中的氧/氟预处理涂层正是原子级表面处理工艺,直接对应ALD设备核心技术路径。
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中船集团旗下电子特气平台,主营高纯三氟化氮、六氟化钨等含氟电子特种气体,85.2%收入来自电子特气,79.8%收入来自集成电路与显示行业(2025年报)。含氟气体是新闻中MoS₂氟预处理工艺的直接需求品种,公司为国内含氟电子特气核心供应商。
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半导体刻蚀与薄膜沉积设备龙头,ALD氮化钛沉积等技术覆盖3nm至65nm制程。2025年报明确指出随着晶体管结构复杂度提升,薄膜沉积技术起决定性作用。新闻中下一代晶体管涂层工艺的实现高度依赖ALD等薄膜沉积设备。
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电子特气品类齐全,含六氟乙烷、八氟环丁烷等氟碳气体及正硅酸乙酯等前驱体材料。2025年报显示泛半导体行业收入占比22.9%,其中正硅酸乙酯用于CVD沉积SiO₂绝缘层,与涂层工艺的气体/前驱体需求存在供应链关联。
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扩建4500吨/年电子级三氟化氮项目(投资6.84亿元),三氟化氮是半导体制造中含氟气体的重要品种。虽电子特气收入占比目前约4.1%(2025年报),但公司在电子特气领域的产能扩张直接受益于含氟气体在新型沉积/刻蚀工艺中的增量需求。