7月27日，上海精测半导体第100台电子束量检测设备出货。高端电子束量检测设备作为半导体前道制造的核心关键装备，其核心技术及市场份额长期被海外巨头垄断。此次第100台设备成功出货，标志着国产电子束量检测设备在商业化进程中取得重要突破，国产替代能力进一步增强。
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新闻中「上海精测半导体」为精测电子控股子公司。2025年报显示，eView系列电子束缺陷检查设备累计出货超60台套、eMetric系列电子束关键尺寸量测设备累计出货超20台套，合计80+台，第100台出货里程碑与公告数据吻合。半导体业务2025年收入13.18亿元（同比+71.6%），在手订单25.33亿元，核心零部件拥有全部自主知识产权。
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国内半导体量检测设备龙头，2025年报显示半导体收入占比96.6%。华泰证券2026-04-26研报指出公司「覆盖光学+电子束+X光一站式布局」，电子束关键尺寸量测设备已完成样机研发。产品覆盖无图形/图形/明暗场缺陷检测全系列，与精测电子构成前道量检测赛道直接竞争，共享电子束设备国产替代逻辑。
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2025年年报摘要明确披露公司「已全面布局光学和电子束量检测设备」，子公司超微公司引入多名国际顶尖电子束量检测设备专家（均拥有10年以上研发与商业化经验），已规划覆盖多种量检测产品。作为刻蚀设备龙头（2025年营收123.85亿元，同比+36.62%），正向电子束量检测领域战略拓展。