中信建投：半导体设备全球景气周期持续确认 关注涨价+出海

国内半导体设备平台型龙头，2025年报电子工艺装备收入占比93.3%，产品覆盖刻蚀、薄膜沉积、清洗、炉管等前道核心品类；直接受益SEMI预计2026年全球设备销售额1659亿美元(+23.2%)、2028年达2295亿美元及台积电资本开支上修至600-640亿美元带动的设备景气与国产替代，因果距离=1。

刻蚀设备龙头，2025年报收入100%来自半导体设备；年报明确随3D NAND堆叠层数增加，刻蚀/薄膜设备成为关键核心设备，直接受益全球设备景气上行与国内晶圆厂扩产，为新闻所指设备高景气周期的最直接受益方。

国内半导体设备精密零部件领军企业，2025年报披露覆盖刻蚀、薄膜沉积、离子注入等设备全品类零部件，气体传输系统收入占比31.2%、集成电路行业收入84.5%；2026年1月业绩预告明确新增匀气盘、特殊涂层、加热盘、静电卡盘及阀门五大先进制程专项并已量产，直接命中新闻'阀门管路涨价+国产替代'主线。

2025年报：核心零组件Gas Box(气体输送模组)已打破国外垄断、占据国内供应商首位，向北方华创、拓荆科技、中微公司、新凯来等国内头部设备商批量供货并通过TEL、KE、华虹验证；核心零组件收入占比17.4%，是新闻点名'GAS BOX'环节的最直接标的。

薄膜沉积设备龙头，2025年报半导体专用设备收入占比96.6%，PECVD/ALD/SACVD等产品已进入国内逻辑与存储芯片产线；ASML业绩超预期显示的AI算力+存储复苏双驱动直接拉动薄膜沉积设备需求，因果距离=1。

国内半导体设备用先进陶瓷材料零部件头部企业，2025年报半导体行业收入占比82.7%，2025年1-9月半导体领域陶瓷零部件收入6.65亿元、占陶瓷零部件收入91.58%；陶瓷加热器国产替代解决CVD设备'卡脖子'，直接命中新闻'陶瓷件'涨价与国产替代逻辑。

半导体清洗设备龙头，2025年报半导体设备收入占比95.8%；清洗设备是晶圆制造全流程必备环节，直接受益全球设备资本开支上行与国产化率提升，全球设备销售额连年创新高对其为直接利好。

国内CMP(化学机械抛光)设备龙头，2025年报CMP设备收入占比87.2%、半导体行业收入100%；受益国内晶圆厂扩产及设备国产化率提升，是设备景气周期中的核心国产设备商，因果距离=1。

2025年报明确特种电源含射频电源(射频/溅射电源RMA系列、RHH系列)，应用于射频溅射、PECVD、反应离子刻蚀等半导体设备，为等离子体配套电源；半导体等电子材料行业收入占比21.9%，直接命中新闻点名'射频电源'环节的国产替代诉求。

2025年报：高纯及超高纯应用材料收入占比31.9%、泛半导体行业收入31.9%，拥有AdvanTorr真空与NanoPure气体两大系列，产品为高洁净真空系统和高纯气体传输系统关键组件（泵、阀、管路），子公司方新精密主营气体分配盘Shower Head，对应'阀门管路'全链条涨价与国产替代主线。

2025年报硅零部件及其他收入占比54.1%，已进入中国主流存储芯片制造厂及等离子刻蚀设备制造厂供应链；刻蚀机用硅上电极、硅片托环属设备核心消耗零部件，直接受益刻蚀设备出货放量及零部件国产化，为'零部件涨价'环节供应商。

涂胶显影/清洗设备商，2025年报半导体类设备收入占比98.9%，海外及港澳台收入占比7.4%兼具出海属性；涂胶显影为光刻核心配套环节，受益晶圆厂扩产与设备国产化，属设备景气周期直接受益方。

检测/量测设备龙头，2025年报检测设备收入占比66.4%、量测设备30.4%，已应用于国内28nm及以上制程产线；量检测为设备景气周期中高国产替代空间的卡位环节，直接受益晶圆厂资本开支扩张。

2025年报：超高纯溅射靶材收入占比61.9%、半导体精密零部件收入占比23.5%，零部件覆盖PVD/CVD/刻蚀/离子注入机台，2026年定增募投聚焦精密零部件放量；设备景气+零部件涨价双逻辑下直接受益，海外收入占比34.1%具出海属性。

2025年报披露半导体设备领域精密金属结构件（刻蚀、薄膜沉积、光刻、去胶、封装设备）是公司精密金属结构件的核心业务，定位半导体设备领域集结构件制造、集成装配及维修一体的综合配套商；设备扩产直接拉动其结构件需求。