新制造工艺将分子无损嵌入电子器件
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国内原子层沉积(ALD)设备龙头,以ALD技术为核心做先进微纳米级薄膜沉积;2025年半导体设备收入8.8亿元、同比+169%、占比33.5%,是国内首家将量产型High-k ALD设备应用于集成电路前道产线的国产厂商。MIT技术核心为将厚度不到1纳米的分子层逐层嵌入芯片器件,ALD正是工业界实现单分子层逐层沉积的核心工艺设备,公司在半导体/OLED/钙钛矿/柔性电子均有沉积设备布局(华源证券20
半导体薄膜沉积设备龙头,主营PECVD/ALD/SACVD三大系列,半导体专用设备收入占比96.6%;2025年报明确ALD可将反应材料以单原子膜形式循环反应逐层沉积于硅片表面,是高深宽比、极窄沟槽等先进逻辑/存储器件必不可少的核心设备。其工艺路线与MIT将亚纳米分子层嵌入器件的技术方向同源,是最直接的产业化受益设备环节。
聚焦集成电路微观加工设备(等离子体刻蚀+化学薄膜沉积),2025年报在行业技术论述中明确指出原子层沉积氮化钛已成为先进逻辑/存储芯片接触孔阻挡层和粘结层的主要工艺选择,具备原子层沉积相关设备与工艺技术储备;作为国内刻蚀+沉积平台型设备商,与标准半导体工艺整合分子层的技术方向直接相关。
国内OLED产业链上游龙头,有机发光材料收入占比49.9%、蒸发源设备占39.4%;通过真空蒸镀将有机分子材料逐层成膜嵌入显示器件,是分子材料嵌入电子器件最接近的产业化形态。公司前瞻布局钙钛矿材料及蒸镀设备、8.6代蒸发源、小型蒸镀机,与新闻所述分子层沉积制造方向同源。
功能性材料(液晶/OLED等电子材料)收入占比78.3%,2025年报披露已形成OLED中间体→升华前单体→成品材料的全链条产品线,OLED成品材料直接用于OLED显示面板器件;属于有机分子材料嵌入电子器件的核心材料供应商,与MIT技术同属分子级材料器件化方向(产业化落地于显示领域)。
OLED终端材料+中间体全产业链公司,OLED材料收入占比93.5%,客户覆盖京东方、华星光电、和辉光电等头部面板厂;产品为需经蒸镀成膜的有机发光分子材料,是分子材料在电子显示器件中应用的代表性标的,与新闻所述分子无损嵌入电子器件的技术路径同原理(应用于显示而非芯片)。