欧盟通过授权条例更新出口管制清单，加强对EUV光刻相关供应链管控

公司公告显示“年产300吨KrF/ArF光刻胶产业化项目建成投产”，直接切入EUV光刻胶供应链。2025年报半导体业务收入占比57%，拥有国际一流的ArF-i和KrF光刻机验证实验室，产品对标全球一流水平。

公司购买ASML 1900 Gi型光刻机及配套设备，建成ArF、KrF光刻实验室，光刻胶产品覆盖EUV光刻胶。2025年报光刻胶收入占比13.9%，半导体行业收入占比65.8%，直接参与高端光刻胶国产化。

科创板光刻胶第一股，围绕光刻工艺形成光刻胶及配套试剂产品板块。2025年报光刻胶及配套试剂收入占比22.9%，半导体行业收入占比92.4%，是国内光刻胶领域核心供应商之一。

公司公告明确提及“光刻机核心子系统相关元组件项目稳步落地”，产品应用覆盖光刻、量检测等关键环节。凭借超精密制造优势，持续深化与国内半导体设备头部企业合作，直接参与光刻机零部件供应。

拥有“光刻机曝光物镜超精密光学元件加工技术”核心能力，为半导体光刻提供底层支撑。精密光学元件收入占比43.8%，公司定位为国际前沿的精密光学综合解决方案引领者，直接服务光刻机光学系统。

公司公告显示“滤光片等产品已成功导入全球顶尖光刻机、半导体刻蚀设备、半导体量检测设备客户”。先进制造与检测领域收入占比11.4%，产品直接用于光刻机等高端设备，已实现供应链突破。

掩膜版技术向EUV掩膜版方向迭代，适配ASML EUV光刻机高能量照射需求。2025年报石英掩膜版收入占比91.6%，公司是国内领先掩膜版厂商，产品是光刻工艺图形转移的刚需母版。

产品包括半导体类晶圆，主要用于半导体光刻、封装制程中作为衬底使用。2025年报玻璃晶圆收入占比7.6%，公司是光学元件专业厂商，产品直接服务于半导体光刻工艺。

前道涂胶显影设备与光刻机配合进行作业，是光刻工序不可或缺的配套设备。2025年报电子工艺装备收入占比96.4%，涂胶显影设备已形成完整技术体系，直接配套光刻机使用。

国内刻蚀设备龙头，半导体设备收入占比100%。欧盟加强EUV光刻供应链管控将加速半导体设备国产化进程，公司作为核心设备商直接受益，刻蚀设备是芯片制造关键环节。

半导体清洗设备龙头，2025年报半导体设备收入占比95.8%。欧盟限制可能推动国内晶圆厂加大本土设备采购，公司清洗设备已进入主流产线，将受益于设备国产替代加速。

光刻及其他混合气体收入占比22.0%，特种气体业务收入占比65.1%。公司产品进入英特尔、台积电等全球领先半导体企业供应链，是国内电子特气龙头，受益于半导体材料国产化。

国内领先的半导体硅材料供应商，300mm硅片抛光片收入占比61.3%，刻蚀设备用硅材料收入占比29.7%。硅片是芯片制造基础材料，供应链安全重要性提升，公司作为国产硅片龙头受益。

硅零部件收入占比54.1%，已进入中国主流刻蚀设备厂商供应链，发挥国产化作用。2025年报硅零部件产品收入同比增长100.15%，是刻蚀机关键零部件供应商，受益于设备国产化。

拥有电子光刻技术，集成电路材料收入占比76.3%，半导体行业收入占比78.3%。公司是国内半导体材料综合厂商，产品覆盖光刻、电镀等关键工艺，受益于半导体自主可控加速。