微导纳米：拟定增募资不超49.44亿元 用于半导体设备项目、尖端薄膜沉积技术研发中心项目等

事件主体。公司拟定增募资不超49.44亿元，其中32.25亿元投向尖端薄膜沉积技术研发中心、7.29亿元投向无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目、2.89亿元投向华中项目。公司为国内ALD薄膜沉积设备引领者（华源证券2026-03-08研报），方正证券2026-05-06研报指出其显著受益于存储芯片头部客户加速扩产，预计2026年营收29.09亿元；本次定增规模约相当于当前年营收的1.7倍，产能与

薄膜沉积设备最纯粹的同赛道竞品。主营PECVD/ALD/SACVD/HDPCVD等薄膜沉积设备，2025年营收65.19亿元、同比+58.87%（华鑫证券2026-05-31研报）；东吴证券2026-04-30研报指出其为国产ALD工艺覆盖度第一厂商，截至2025年末ALD设备累计出货超140个反应腔。微导近50亿定增印证薄膜沉积设备（尤其ALD）赛道高景气与存储扩产需求，强化行业产能扩张预期。

薄膜沉积设备直接竞品兼平台型设备商。华西证券2026-04-28研报指出，公司LPCVD、ALD、EPI等多款薄膜设备在先进存储和先进逻辑市场新增付运量快速增长，用于金属栅的ALD设备性能达到国际领先水平，薄膜设备成为业绩增长重要新引擎。微导大额扩产指向同一存储扩产周期，验证国产薄膜设备需求景气。

国内平台型半导体设备龙头，2025年电子工艺装备收入占比93.3%，集成电路工艺设备覆盖刻蚀、薄膜沉积（PECVD/ALD/立式炉）、清洗等，与微导纳米在ALD/CVD薄膜沉积环节直接竞争。微导49.44亿定增聚焦先进半导体设备产业化，反映国产薄膜沉积设备订单需求扩张，利好并强化设备国产化主线。

半导体ALD设备新进入者，与微导在半导体及光伏两端均有交集。2025年报摘要披露，公司半导体高选择比刻蚀与原子层沉积（ALD）设备已实现关键技术突破、完成多批次客户交付，进入多家国内头部逻辑和存储器芯片生产厂，半导体及显示行业收入占比约8.1%。微导大额扩产印证ALD赛道需求，公司为国内同类技术布局标的。

薄膜沉积设备上游关键零部件供应商。公司档案定位为国内半导体刻蚀和薄膜沉积设备细分领域关键零部件的精密制造专家，产品覆盖腔体、内衬、加热器、匀气盘等，2025年半导体业务收入11.94亿元、占主营超97%（中原证券2026-05-12研报），核心客户为北方华创、中微、拓荆等设备龙头。微导纳米无锡/华中产业化扩产将带动设备零部件采购需求，但公告未点名其为微导供应商，关联为行业级传导。